介绍了原子力显微镜的工作原理、组成、特点及其应用领域。利用对光盘和软盘表面结构进行了三维检测, 使用软件对扫描得到的图像进行了计算和分析, 由所得数据可以看出, 光盘将取代光盘成为外存的主流, 而软盘将被淘汰利用原子力显微镜对单晶硅进行基于金针的纳米加工, 刻蚀出“ 河南理工大学” 的字样。

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作者

闫勇刚,马强,黄俊杰,刘万里,孙大许,梁智永.

期刊

微纳电子技术,3,139-141(2005)

年份