|
|
||||
系统功能 |
|
原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM) 横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM) 扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, STM) |
||
|
||||
分辨率 |
扫描隧道显微镜(STM):横向 0.1nm, 垂直 0.01nm |
|||
|
参数性能 |
|
X-Y扫描范围:~10μm Z方向扫描范围:~2μm 图像分辨率:128X128, 256X256, 512X512, 1024X1024 扫描角度:0~360° 扫描频率:0.1~100Hz |
||
|
主控制系统 |
|
中央处理器:德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP) 高速16-bit DAC 高速16-bit ADC 高压扫描驱动:5路APEX集成高压运算放大器 通信接口:10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口 |
||
|
||||
机械性能 |
|
样品尺寸:最大可达直径45mm,厚度15mm 全自动步进电机控制进样系统:行程15mm,定位精度50nm/步 |
||
|
||||
软件系统 |
|
基于Windows 10/8/7/Vista/XP/2000/9X的在线控制软件和图像处理软件 |
|