采用直流磁控溅射法在玄武岩纤维表面沉积纳米Ｃｕ薄膜，工作气体为氩气，利用原子力显微镜（ＡＦＭ）和扫描电子显微镜（ＳＥＭ）观察Ｃｕ薄膜在纤维表面的微观结构，并较为系统地分析了磁控溅射工艺参数对Ｃｕ薄膜表面颗粒尺寸、表面粗糙度等的影响，采用Ｘ射线能谱仪（ＥＤＸ）分析了溅射前后表面各元素的含量。结果表明：随着溅射功率的增大，溅射时间的延长其表面颗粒的团聚增强；溅射压强增大会导致表面粗糙度增大；基底温度的升高会导致Ｃｕ粒子热迁移现象，表面粗糙度增大，但对表面裂纹的产生有一定的改善，并利用ＡＦＭ 测试了裂纹的宽度和深度。