stm是纳米尺度上进行测量的主要工具之一。反馈调节是仪器的主要环节。提高反馈控制精度和反馈控制速度是要解决的重要问题。利用模糊控制原理设计的模糊控制器在调节性能上比传统的调节器精度高、速度快。试验表明, 这种调节方法是解决反馈控制中非线性问题比较好的方法之一。