介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点。用AFM 对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测。所得结论表明A F M 在信息存储介质检测过程中具有独特的优势。

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作者

刘万里,孙大许,马强,闫勇刚.

期刊

现代科学仪器,5,51-53(2005)

年份