利用射频磁控溅射法,室温下通过交替溅射ZnO和Ag,在PET纤维基材上制备 ZnO/Ag/ZnO纳米结构多层膜。运用扫描电镜和原子力显微镜对薄膜表面形貌进行分析,用分光光度计测试其透光性能,用四探针电阻测试仪测试其方块电 阻。结果表明:纤维基Zno/Ag/ZnO多层膜致密、均匀,对紫外光表现为较强的吸收能力;Ag膜厚度的改变可以调控多层膜的光电性 能;ZnO(40nm)/Ag(20nm)/ZnO(40m)多层膜呈现多晶结构,方块电阻为4.4Ω;透光率接近30%。

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作者

邓炳耀,刘江峰,高卫东.

期刊

真空科学与技术学报

年份