采用电子束蒸发技术在TiO2 缓冲层上沉积了ZnO薄膜,研究了不同的退火温度对薄膜晶化质量及发光性质的影响.利用X射线衍射仪和扫描探针显微镜分析了薄膜样品的结构性质,...

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作者

徐林华,李相银,史林兴,沈华

期刊

半导体学报

年份