采用射频磁控溅射技术, 用高纯石墨靶在单晶硅片、抛光不锈钢片上制备了类金刚石薄膜( DLC) 。采用Raman 光谱、原子力显微镜、显微硬度分析仪, 表征了类金刚石薄膜的微观结构、表面形貌、硬度。结果表明, 制备的类金刚石薄膜中含sp2、sp3 杂化碳键, 具有典型的类金刚石结构特征。计算表明, 对应sp3 杂化碳原子含量的ID1IG 为3.18; 薄膜的表面十分平整光滑, 表面粗糙度极低, 平均粗糙度Ra 为0.17 nm; 薄膜硬度可以高达30.8 GPa。