☑ .Al/Ag/Al复合薄膜电极的抗氧化性和电性能研究.

为开发大尺寸场发射显示器需要的能承受高温热处理的薄膜电极,以 Al作为Ag层的保护层和与玻璃衬底的粘附层,采用直流磁控溅射制备了Al/Ag/Al复合薄膜及其电极.采用XRD、...

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作者

林志龙;袁军林;翁卫祥;杨雄;郭太良

期刊

光电子技术

年份