本试验采用溶胶-凝胶工艺在印 有电极的石英玻璃表面,通过浸渍-提拉法制备稀土离子掺杂的TiO2-20wt%SnO2复合薄膜.研究当测试频率为0.01 kHz时,烧结温度和稀土掺杂量对薄膜湿敏性能的影响.试验结果表明:在400℃和500℃下烧结的薄膜的湿敏性能要优于在600℃和700℃烧结的薄膜 的湿敏性能;掺杂稀土离子的薄膜的感湿性能得到了改善,固有阻值降低;400℃烧结的0.5wt%La2O3掺杂的薄膜在45~95RH%湿度范围内阻抗 值下降两个数量级;500℃下烧结的0.2wt%CeO2掺杂的薄膜在25~95RH%湿度范围内阻抗值下降两个数量级.