利用恒电位电化学沉积方法在IT O 导电玻璃基底上制备了纳米ZnO 薄膜, 并利用原子力 显微镜进行了形貌表征。结果显示, 当沉积电压为0. 8 V 时, 经过30 min 的沉积在基底上形成了由规 则排列的三角形ZnO 晶粒构成的纳米薄膜。对晶粒的形成机理进行了初步的讨论。