平行板电容是大多数MEMS 传感器件的核心检测结构。考虑随着检测电极间距的减小，电极表面粗糙度会对其空间电场分布产生影响，本文研究了电极表面粗糙度对检测电容性能的影响。建立了单粗糙电极的平行板电容器模型，并采用有限元法分析了表面粗糙度和边缘效应对静电场分布的影响; 针对粗糙表面增大了电极存储电荷的能力，对粗糙表面的平行板电容器计算公式进行了修正。采用原子力显微镜对不同粗糙度的样本进行了表征，实验和仿真结果表明:减小两电极之间的距离，增大检测电极的表面粗糙度，可以显著增大检测电容。当检测电极的粗糙度从0． 063 nm 增加到60 nm 时，平行板电容器电容值增大了9． 0%。结论显示，增大MEMS 电容器两电极的表面粗糙度，可以有效地增大MEMS 器件的检测灵敏度