利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基体为85.8 nm,AlCrN涂层为175 nm,AlCrN涂层与TiC基体表面相对平整,阴极离子镀对表面粗糙度影响较小;AlCrN涂层表面高度值相对分散,支承系数大;AlCrN涂层平均颗粒直径1432 nm,而TiC基体为1460 nm,根据Hall-Petch关系,AlCrN涂层的显微硬度远远高于TiC基体的显微硬度;AlCrN涂层和TiC基体功率谱分布无规律,材料表面均表现为各向异性。