利用热蒸发Ｚｎ粉的方法，在Ａｕ／掺铝氧化锌（ＡＺＯ）／石英衬底上生长ＺｎＯ纳米结构。为了研究不同温度退火后的衬底对生长的ＺｎＯ 纳米结构的影响，Ａｕ／ＡＺＯ／石英衬底在生长纳米结构前分别在３００、５００和７００℃真空下退火。Ａｕ／ＡＺＯ／石英衬底的表面形貌用原子力显微镜（ＡＦＭ）观测。ＺｎＯ纳米结构的微结构、形貌和光学性能分别用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、透射电子显微镜（ＴＥＭ）和荧光光谱仪进行测量。结果表明，在未退火和３００℃退火衬底上生长了大量的ＺｎＯ纳米棒，而在５００℃和７００℃退火衬底上沉积了大量ＺｎＯ纳米颗粒。单晶结构的纳米棒的平均直径分别约５０ｎｍ和８０ｎｍ，其生长机制为蒸气－液体－固体（ＶＬＳ）生长机制。荧光光谱显示所有的样品都存在紫外发光峰和深能级发射带，随着退火温度的升高，生长的纳米结构的紫外发光峰相对强度增强，而深能级发射强度减弱。