國際主流的研究級專業儀器，國內領先的全功能掃描探針顯微鏡，可溯源的高精度計量型儀器，863成果轉化的新一代儀器
CSPM開放式軟體系統(CSPM Open Source Software)的目的是讓二次開發用戶可以從複雜的儀器功能編程中解脫出來，將精力集中在具體的功能擴展上，大幅度降低開發成本、縮短開發週期。
掃描探針顯微鏡(SPM)不僅可以獲得樣品的表面形貌，借助特殊的探針和檢測技術，還可用以分析與作用力相關的樣品表面性質。CSPM5500磁力顯微鏡(MFM)可以檢測樣品表面的磁疇分佈，用於各種磁性材料的分析和測試；CSPM5500靜電力顯微鏡(EFM)可以檢測樣品的表面電勢、電場分佈、薄膜的介電常數和沉積電荷等資訊。
CSPM 開放式軟體（CSPM OSS）
CSPM開放式軟體系統(CSPM Open Source Software)的目的是讓二次開發用戶可以從複雜的儀器功能編程中解脫出來，將精力集中在具體的功能擴展上，大幅度降低開發成本、縮短開發週期。
CSPM掃描探針顯微鏡系統(SPM)的架構如下圖: