采用磁控溅射法在涤纶水刺非织造布表面沉积纳米结构Ｃｕ单层膜和ＺｎＯ／Ｃｕ多层膜，利用原子力显微镜（ＡＦＭ）对薄膜表面形貌进行分析，并利用四探针测试仪和矢量网络分析仪对样品的电学性能进行了测试。结果表明，在ＺｎＯ薄膜表面生长的Ｃｕ膜比在ＰＥＴ织物表面生长的Ｃｕ膜的均匀性、电学性能要好；在Ｃｕ镀膜时间相同的情况下，随着ＺｎＯ镀膜时间的增加，多层膜ＺｎＯ／Ｃｕ的电学性能先提高后降低，当ＺｎＯ镀膜时间为２０ｍｉｎ时，多层膜的电学性能达到最好；在ＺｎＯ镀膜时间相同的情况下，随着Ｃｕ镀膜时间的增加，多层膜ＺｎＯ／Ｃｕ的电学性能和织物表面颗粒均匀性经历了先提高、最后趋于稳定的过程，屏蔽效能最大平均值达到５６ｄＢ。