本文研究了酞菁锌（ZnPc）薄膜的表面形貌及ZnPc薄膜作为缓冲层对有机电致发光器件（OLEDs）光电特性的影响。对比两组样品的AFM图像，ZnPc薄膜相比于ITO薄膜，其表面的岛面积较大，薄膜表面更连续平整，基本上覆盖了ITO膜表面针孔，减少了表面的缺陷。另外，ZnPc薄膜的岛分布均匀有序。使用ZnPc作为缓冲层的器件性能明显好于未使用ZnPc修饰的器件，在7．42V的驱动电压下的最大发光亮度达到1．428kcd／m^2，在4．3V电压驱动下时，最大光功率效率为1．411m／W；而未使用缓冲层的器件在8V的驱动电压下达到最大发光亮度达到1．212kcd／m^2，在5．5V电压驱动下时，最大光功率效率为0．931m／W。