CSPM4000系列扫描探针显微镜
主要性能

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主要性能

■ 集成原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(LFM)、扫描隧道显微镜(STM)、磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM)
■ 原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式
■ 只需要更换探针架,即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换 
■ 具有I-V曲线和力曲线等测量分析功能
■ 具有图形刻蚀模式和向量扫描模式的纳米加工技术
■ 具备双向扫描(Trace-Retrace)功能
■ 样品尺寸增大至直径50mm、厚度30mm
■ 主控制系统采用德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP)
■ 主控制系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)与计算机连接
■ 快速全自动进样,无需手工粗调
■ 全数字控制,系统状态、仪器类型、扫描仪和探针架参数智慧识别和控制
■ 基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理分析软件
■ 扫描图像当前全部工作环境参数同步保存
■ 可连续采集、存储和重现动态过程(纳米电影)
■ 具有国家、国际相关标准全系列参数的样品粒度和粗糙度自动分析
■ 针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/样品模拟扫描/用已知针尖重建图像)
■ 按功能模块划分的总线插卡式结构,便于日后系统维护和升级
■ 可附加第二显示器和光学显微辅助系统

技术指标

• 系统功能
    原子力显微镜(AFM),包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起等多种工作模式
    摩擦力显微镜(LFM)
    扫描隧道显微镜(STM)
    纳米加工和操纵,包括图形刻蚀模式和向量扫描模式
• 分辨率
    原子力显微镜(AFM):横向 0.26nm, 垂直 0.1nm(以云母晶体标定)
    扫描隧道显微镜(STM):横向 0.13nm, 垂直 0.01nm(以石墨晶体标定)
• 参数性能
    电流检测灵敏度:≤10pA 力检测灵敏度:≤5pN
    图像分辨率:128X128,256X256,512X512,1024X1024
    扫描角度:0~360°
    扫描频率:0.1~100Hz
    预置隧道电流:0.001~10nA
    偏置电压:-10~+10V
• 电子控制系统
    中央处理器:德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP),运算速度150MHz
    20通道16-bit DAC,建立时间1.5微秒
    20通道16-bit ADC,采样率500kHz
    通信接口:10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口
• 机械性能
    样品尺寸:最大可达直径50mm,厚度30mm
    全自动步进电机控制进样系统:行程30mm,定位精度50nm /步
• 计算机系统
    Pentium4-2.8GHz,256MB RAM,80GB HDD,CD-ROM,17"液晶显示器
    基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理软件
 

标配/选配件

• STM、AFM/LFM多模式探头
• STM、AFM/LFM探针架
• 在线控制/后处理软件
• 1 μm × 1 μm 扫描仪
• 20 μm × 20 μm 扫描仪
• 50 μm × 50 μm 扫描仪(选配)
• 70 μm × 70 μm 扫描仪(选配)
• 100μm × 100μm 扫描仪(选配)
• 光学辅助显微系统(选配)
• 第二显示器,方便进行参数调整及图像观测(选配)
• 悬挂隔震系统(选配)
• 精密隔振平台(选配)

 

 

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